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| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確PID調節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
三溫Chuck探針臺卡盤是半導體測試領域的溫控承載設備，主要用于探針臺系統(tǒng)中固定晶圓并提供低溫、常溫、高溫三段式準確溫度控制，適配半導體芯片三溫測試需求，是保障芯片性能評估準確性的關鍵部件。
該設備通過真空吸附技術穩(wěn)固固定晶圓，搭載獨立溫控模塊實現三個溫區(qū)的分區(qū)調控，配合高精度溫度傳感器與閉環(huán)控制技術，可準確模擬芯片實際工作溫度環(huán)境。無錫冠亞恒溫控溫范圍達-65℃～200℃，控溫精度±0.5℃，溫場均勻性良好，確保晶圓表面溫差小，避免測試數據失真。
廣泛應用于8/12英寸晶圓電學測試、車規(guī)級芯片可靠性評估、功率器件建模測試等場景。無錫冠亞恒溫產品具備以下特點：
1. 分區(qū)溫控設計，支持多溫區(qū)協(xié)同工作，適配復雜測試需求
2. 優(yōu)化式真空吸附結構，吸附力均勻穩(wěn)定，避免晶圓損傷
3. 兼容多種規(guī)格晶圓，無需更換配件即可快速切換測試需求
4. 運行數據可記錄導出，便于測試過程追溯與分析
作為專業(yè)三溫Chuck探針臺卡盤廠家，無錫冠亞恒溫憑借成熟溫控技術，為半導體測試提供穩(wěn)定可靠的溫度控制解決方案，助力提升芯片測試效率與數據準確性。
